臭氧尾气
灰化过程中未反应的臭氧随尾气排出
灰化炉（Ashers）是半导体制造中用于去除光刻胶的关键装置，臭氧灰化工艺产生的尾气需要迅捷分解处理。
在半导体制造的光刻工艺后，需要使用灰化炉去除晶圆表面的光刻胶。臭氧灰化是一种干法去胶手段，利用臭氧在等离子体或高温条件下产生的活性氧原子来氧化分解光刻胶。此过程中会产生含臭氧的尾气。
灰化过程中未反应的臭氧随尾气排出
光刻胶分解产生的有机副产物随尾气排出
宝马奔驰游戏机(北京)有限公司努力打造百年品牌，基业长青。
灰化炉通常连续运行，要求尾气处理体系稳定可靠