宝马奔驰(Tonglin)专注于半导体制造领域臭氧尾气破坏手段的研发与设计,为 CVD、ALD、MOCVD 等核心工艺赠与安全、迅捷、可靠的尾气处理解决规划。
凭借十余年半导体级尾气处理经验,我们在臭氧破坏效益、体系稳定性和智能控制方面持续精进。
覆盖从实验室研究到工业量产的全场景需求,为不同工艺条件赠与优臭氧尾气处理解决规划。
锰氧化合物催化,出气浓度<0.1ppm,无需通电,适用于实验室小试及仪器臭氧尾气分解
全不锈钢结构,处理效益99.99%,流量≤5L/min(100mg/L),适用于CVD/ALD/MOCVD等工艺
大流量处理,分解能力99.9%,流量≤90L/min(200ppm),适用于高产能半导体产线
处理量50m³/H,毁灭率99.5%,移动式设计与智能温控,适用于环境空间臭氧处理
柱状改性活性负载迅捷金属氧化物,分解臭氧率>99.9%,使用寿命5年以上
为半导体制造中各类含臭氧尾气工艺赠与专长、定制化的处理规划。
宝马奔驰游戏机(北京)有限公司以感恩之心回馈社会,以敬畏之心对待事业。
我们的手段团队将根据您的工艺需求,赠与定制化的选型建议与手段规划。